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XPS定性分析

X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。XPS主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析，包括价态。
主要应用
1 元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。
2 元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度(光电子峰的面积)反应原子的含量或相对浓度。
3 固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
4 化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。

日本AXIS Ultra DLD  X射线光电子能谱仪
该仪器主要用固体样品表面化学组成、化学元素像、化学价态、价带结构、晶体结构分析及深度剖析。
可进行金属、合金中夹杂物成分分析，炉渣、矿相、材料中元素及其在体相中的深度分布分析等，能给出
逐层元素变化的具体信息（包括价态、含量、分布及元素的图像）。
适用于非放射性和非挥发性金属、合金等导体、半导体、绝缘体，粉末、薄膜等。

定量分析

根据能谱图中光电子谱线强度(光电子峰的面积)反应原子的含量或相对浓度。

固体表面分析

包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。
XPS主要用于固体样品表面的组成、化学状态分析。能进行定性、半定量及价态分析。广泛应用于聚合物、无机化合物、有机化合物、催化剂、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料的研究。
对于块状和薄膜试样直径不要超过8mm，厚度不要超过3mm；对于粉末试样，应在烘烤箱内烘烤后才能测试。