二维材料微纳加工-原位测试

产品: Ga2O3 氧化镓,三氧化二镓 薄膜

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详细介绍

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4英寸硅片上电子束蒸发沉积薄膜。

基底:4英寸硅片,N型或者P型可选,电阻率小于0.1ohm*cm

氧化镓厚度,50nm



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