二维材料微纳加工-原位测试

产品: 预沉淀不等距电极硅片

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详细介绍

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电极规格: 以10*10mm为基本单元,每个单元里标记100个数字,数字间隔900um,数字尺寸50um*50um,线宽10um。
电极材料: 5nm Cr+50nm Au金属。
硅片规格: 4英寸,单面抛光,双面氧化 , (100)晶向, 高导电N或者P型可选,电阻率小于0.1 ohm*cm-1。
制作流程: 涂胶->曝光->显影->电子束蒸发金属层->去胶清洗->检验->包装。
包装规格: 每片4英寸独立包装。
特殊定制: 发送需求示意图和需求数量至sales@6carbon.com,评估成本和难度后进行报价。






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