产品: 非极性/半极性氮化镓自支撑衬底(A面)
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详细介绍
性能参数:
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产品型号 GaN-FS-A-U/N/SI-S 尺寸 (5.0~10.0)× 10.0 mm2 (5.0~10.0)× 20.0mm2 厚度 350±25μm 晶面 (1120) 斜切角 -1°±0.2° TTV ≤10μm 弯曲度 ≤10μm 导电类型
电阻率(300 K)N-type < 0.1Ω·cm N-type < 0.05Ω·cm Semi-Insulating > 106Ω·cm 位错密度 From 1x105 to 3x106cm-2 有效面积 >90% 抛光 Front Surface:Ra<0.2 nm(polished); Back Surface:1-3nm(fine ground);
option:<0.2nm(polished)包装 Packaged in a class 100 clean room environment,
in single container,under a nitrogen atmosphere.
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