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如何在金属基底上PECVD生长石墨烯?

文章来源:北科新材 浏览次数:43时间:2020-08-10 QQ学术交流群:1092348845

金属基底上PECVD生长石墨烯

(a) PECVD设备构成;

(b) R2R SMWCVD设备示意图;

(c) 通过PECVD一步合成高质量石墨烯。



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