E1-S金刚石对顶砧二维材料转移系统

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编号：BK2020052961

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详细介绍

E1-S金刚石对顶砧度二维材料转移系统是国内首创低维材料异质结器件转移商用解决方案，适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转，是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。

E1-S 是在E1-T的基础上对载玻片移动平台的夹具和衬底载物平台的样品台部分经过特殊设计，可同时满足二维材料常规转移和金刚石对顶砧（DAC）转移。

E1-S 还拥有众多配置选项，手套箱内使用环境安装，配套阻尼式光学防震平台等。

主要配置*

衬底载物平台	XY 方向两轴平移，行程 13mm；水平倾斜角调节3~5度；绕 z 轴手动调节旋转±90°；样品台加热最高温度为240 ℃；样品台带样品真空吸附功能及DAC装置固定功能
载玻片移动平台	XYZ方向三轴手动平移，行程25mm；快速旋转进样装置
单筒显微镜	变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X；20倍超长工作距离物镜，31 mm工作距离
显微相机	1920*1080高灵敏度CMOS显微相机；提供显微相机操作软件
高稳定显微观察支架	XY 方向两轴平移，行程 50mm大范围调节显微镜观察位置
控制机箱	系统电学控制集成，控制样品台加热、吸附功能，控制显微照明亮度调节
显示器	24英寸1920*1200全高清专业显示器
选配功能	手套箱内使用环境安装，配套阻尼式光学防震平台等

* 详细参数请下载详细配置文件

标准配置

☆☆☆E1-S在保证实现E1-T的所有功能的基础上，对载玻片移动平台的夹具和衬底载物平台的样品台部分经过特殊设计，使得样品台上可固定DAC装置（E1-S系统不含DAC装置，可根据客户的DAC尺寸进行样品台定制），通过与超长工作距离物镜的组合，可满足在显微观察状态下将二维材料精确转移至DAC装置的金刚石端面的实验需求。同时可便捷更换夹具和样品台，实现类似于E1-T的二维材料的常规转移。

显微支架经过多次改良设计，具有高稳定性，保证设备操作状态下显微成像系统无抖动。同时可进行XY方向两轴平移，行程可达50mm，便于大范围调节显微镜观察位置查找样品。

显微成像光路系统由连续可调变倍单筒，同轴照明系统，20倍超长工作距离物镜及1920*1080高灵敏度CMOS显微相机组成。可清晰显示硅片上的手撕单层石墨烯样品。提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能。

衬底载物平台XY 方向两轴手动平移，行程 13mm；绕 z 轴手动调节旋转±90°，兼具粗调和细调，旋转精度可达±1°；水平倾斜角调节3~5度，用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度；样品台加热最高温度为240 ℃；样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵可通过电磁阀控制，真空泵流量为50L/min。